往復(fù)式真空泵（又稱活塞式真空泵）,屬于低真空獲得設(shè)備之一，它的極限壓力一般在1330～2660Pa，它的抽速范圍比較大，從50L/S到600L/S，適用于石油、化工、醫(yī)藥、食品、輕工、冶金、電氣等行業(yè)中的真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業(yè)等方面的抽除氣體。往復(fù)式真空泵不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個(gè)容器輸送到另一個(gè)容器，作輸送泵用。 如圖為往復(fù)式真空泵的工作原理圖，往復(fù)式真空泵的主要部件是氣缸1及在其中作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞2，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。 

運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用（旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動(dòng)），使氣缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強(qiáng)不斷的降低，當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥5不斷地被抽進(jìn)左腔，此時(shí)正處于吸氣過程。

當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5自動(dòng)關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時(shí)，此時(shí)排氣閥4被打開，氣體被排出，完成了一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞在從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，重復(fù)上述循環(huán)，直到被抽容器達(dá)到某一平衡壓力為止。 

在往復(fù)泵中，吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件，它們工作的好壞直接影響往復(fù)泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運(yùn)行的可靠性。